25年蝕刻領(lǐng)域?qū)崙?zhàn)經(jīng)驗,擁有上萬次成功案例,500強(qiáng)企業(yè)的信賴。

作為中國精密制造的重鎮(zhèn),上海依托長三角完善的產(chǎn)業(yè)鏈和持續(xù)的技術(shù)迭代,在電鑄篩網(wǎng)領(lǐng)域形成了領(lǐng)先的加工能力。這類篩網(wǎng)憑借±1μm的微孔公差、800MPa級抗拉強(qiáng)度及復(fù)雜異形結(jié)構(gòu)優(yōu)勢,成為高端產(chǎn)業(yè)不可替代的核心元件。以下為上海精密電鑄篩網(wǎng)的全流程技術(shù)解析:
一、核心加工流程:五步實現(xiàn)微米級復(fù)刻
高精度母模設(shè)計與制備
上海電鑄篩網(wǎng)加工的起點是精密母模。依據(jù)篩孔需求(孔徑0.1-500μm、開孔率30%-80%),采用紫外激光雕刻技術(shù)或LIGA工藝(X光光刻+微電鑄)在光敏樹脂或金屬基底上直接雕刻微孔陣列原型,確保型面精度≤0.003mm,深寬比最高達(dá)10:1 。此為結(jié)構(gòu)精度的核心保障。
表面導(dǎo)電化處理
針對非導(dǎo)體母模(如樹脂),上海廠家普遍采用磁控濺射技術(shù)沉積0.5-2μm金層(電阻率≤10??Ω·cm),或通過化學(xué)鍍鎳工藝(含次磷酸鈉溶液)形成2-5μm均勻?qū)щ妼樱闺娏鞣植季鶆蛐蕴嵘?0%以上 。該步驟直接關(guān)系鍍層均勻性。
電鑄沉積工藝控制
采用改性氨基磺酸鎳溶液(Ni2?濃度80-120g/L,pH 3.5-4.5),搭配脈沖反向電鑄技術(shù)及多陽極陣列系統(tǒng)。通過正反向電流交替,有效抑制孔槽位氫氣泡堆積,實現(xiàn)沉積速度0.12-0.25mm/h,金屬厚度50-100μm且層內(nèi)偏差<5% 。上海地區(qū)通過智能溫控與pH調(diào)節(jié)裝置,將離子濃度波動控制在±0.3g/L內(nèi),符合國標(biāo)GB/T 45376—2025要求 。
剝離與后處理強(qiáng)化
沉積完成后,通過機(jī)械或化學(xué)法將鎳網(wǎng)從母模剝離。為消除內(nèi)應(yīng)力、提升強(qiáng)度,采用階梯式真空熱處理工藝(如300℃分段保溫),使鎳網(wǎng)抗拉強(qiáng)度穩(wěn)定達(dá)800MPa以上,同時避免微裂紋產(chǎn)生 。部分高要求篩網(wǎng)需進(jìn)行表面鈍化處理增強(qiáng)耐蝕性。
微孔質(zhì)量智能檢測
上海廠家集成自動化光學(xué)檢測系統(tǒng)(AOI),實現(xiàn)300片/分鐘高速全檢。通過高分辨率CCD相機(jī)與AI算法,實時識別孔徑超差(公差±1μm)、孔形畸變或堵塞缺陷,確保100%合格率交付 。
二、應(yīng)用場景:高端產(chǎn)業(yè)的“精密守門人”
半導(dǎo)體芯片制造:晶圓清洗過濾
用于超純水過濾環(huán)節(jié)的5μm孔徑電鑄鎳篩網(wǎng),可攔截0.1μm級顆粒污染物,保障刻蝕液純度。其100%開孔一致性避免了傳統(tǒng)編織網(wǎng)的纖維脫落風(fēng)險,為28nm以下先進(jìn)制程提供支撐 。
人工心臟瓣膜:長效抗凝血篩網(wǎng)
植入式瓣膜中的微孔過濾層(孔徑80±1μm)采用生物相容性鎳網(wǎng),利用電鑄工藝實現(xiàn)孔壁光潔度Ra≤0.1μm,顯著降低血栓形成風(fēng)險。20萬次疲勞測試后結(jié)構(gòu)無變形,滿足≥10年使用壽命要求 。
氫燃料電池:氣體擴(kuò)散層核心組件
質(zhì)子交換膜燃料電池中,采用梯度孔結(jié)構(gòu)電鑄篩網(wǎng)(孔徑50-200μm漸變)。其超高導(dǎo)電性與機(jī)械強(qiáng)度(>750MPa),在維持氣體均勻擴(kuò)散的同時,有效支撐膜電極抗壓需求,助力燃料電池堆功率密度突破4.0kW/L 。
三、技術(shù)演進(jìn)與挑戰(zhàn)
上海電鑄篩網(wǎng)廠家正推動三大創(chuàng)新方向:
智能化集成:在篩網(wǎng)嵌入MEMS傳感器,實時監(jiān)測流量與堵塞狀態(tài);
綠色制造:開發(fā)無氰電鑄液,鎳金屬回收率提升至99.9%;
跨尺度融合:結(jié)合3D打印母模與納米電鑄,實現(xiàn)0.05μm級亞微米孔陣列。
當(dāng)前瓶頸集中于厚鍍層均勻性控制(>150μm易邊緣增厚)及生產(chǎn)周期優(yōu)化(復(fù)雜結(jié)構(gòu)需72小時以上),未來需在電流密度自適應(yīng)算法與高速沉積工藝上突破。
上海電鑄篩網(wǎng)以微米之精與千兆帕之強(qiáng),在高端制造領(lǐng)域扮演“工業(yè)之網(wǎng)”的關(guān)鍵角色。從光刻機(jī)的晶圓清洗到植入人體的生命衛(wèi)士,其精密復(fù)刻能力持續(xù)推動產(chǎn)業(yè)升級。隨著智能控制技術(shù)與新材料體系的融合,上海制造的這張“網(wǎng)”,將持續(xù)過濾出中國精密制造的無限可能。
